Què és un filtre ULPA? Com es diferencia de l'HEPA i on pertany realment

Un filtre ULPA és un filtre d'aire ultra-de baixa penetració classificat segons EN 1822 Grup U. Els límits de classe són:

•U15: eficiència integral Superior o igual al 99,9995%

•U16: eficiència integral Superior o igual al 99,99995%

•U17: eficiència integral Superior o igual al 99,999995%

Aquesta és la part de la classificació formal. Al mercat, també veureu productes ULPA descrits com un 99,9995% a 0,1-0,2 μm o al voltant de 0,12 μm, especialment en productes de panells de sala blanca destinats a l'electrònica. Per exemple, un producte ULPA de baix -bor per a ús de semiconductors es publica al 99,9995% @ 0,1–0,2 μm, i moltes guies de comparació utilitzen 0,12 μm com a mida de referència pràctica per a les discussions ULPA.

Quan els compradors pregunten sobre l'eficiència del filtre U15, solen voler la versió curta:

•U15 és la classe d'entrada ULPA

• segons EN 1822, té una eficiència integral del 99,9995%.

•A la literatura de productes, sovint es descriu al voltant d'un rendiment de 0,1–0,2 μm

•Se situa per sobre de H14 en eficiència de filtració i normalment per sobre de H14 en resistència inicial i cost també

Els nostres enginyers sovint veuen que els compradors barregen tres sistemes diferents:

•ISO 16890 / legacy EN 779 per a filtres de ventilació general

•EN 1822 / ISO 29463 per a EPA, HEPA i ULPA

•termes de camp com "HEPA mèdic" o "ULPA de sala blanca"

No compareu aFiltre G4, MERV 8 o ePM1a aPanell U15com si pertanyessin al mateix arbre de decisió. No ho fan. ULPA pertany al-filtre absolut del mercat

La bretxa d'eficiència bàsica és fàcil d'indicar. La part més difícil és explicar què fa aquesta bretxa al sistema.

Segons EN 1822:

H13:Superior o igual al 99,95%

H14:Superior o igual al 99,995%

U15:Superior o igual al 99,9995%

U16:Superior o igual al 99,99995%

U17:Superior o igual al 99,999995%

Això vol dir aFiltre ULPA vs HEPALa decisió no és només "aire més net". Normalment afecta:

Caiguda de pressió inicial

selecció de ventiladors

Consum d'energia FFU o mòdul terminal

economia d'interval de substitució

proves{0}}de fuites i expectatives de qualificació

si el procés es beneficia realment d'aquesta última fracció d'eficiència

Aquesta compensació-sovint es demostra clarament a les línies de productes de sales netes de semiconductors. Els seus panells microelectrònics estan disponibles en mides H14 i U15-U17, destacant la baixa caiguda de pressió, l'alliberament ultra-de gasos i l'adequació per a sales netes i equips microelectrònics. Això il·lustra poderosament que un cop entres al camp de la filtració d'aire de semiconductors, la discussió ja no és només sobre l'eliminació de partícules, sinó una consideració integral del control de partícules, la neteja a nivell molecular i el consum d'energia.

Una manera senzilla-de veure-ho en anglès

Sovint, HEPA és la resposta correcta quan l'habitació es basa en el control d'infeccions, la protecció del producte o una gran neteja sense una sensibilitat extrema a les partícules.

ULPA és la resposta correcta quan el procés és sensible a partícules més petites, menor tolerància als defectes i objectius de sala neta molt més ajustats.

És per això que una declaració general com "ULPA is better" no és útil. En molts projectes, ULPA és millor només si el procés pot justificar la caiguda de pressió i el cost afegits.

Aquí és on la lògica de l'aplicació importa més que el llenguatge del fulletó.

Quiròfans i espais sanitaris

ASHRAE 170 estableix la línia de base de filtració per a quiròfans en un mínim de MERV 16, i demana específicament filtres HEPA al dispositiu terminal d'aire en determinats casos especialitzats O com ara procediments ortopèdics, trasplantaments, neurocirurgia i procediments de cremades dedicats. En altres paraules, l'orientació sanitària no tracta l'ULPA com la resposta predeterminada per al disseny d'OR estàndard. Fins i tot quan s'utilitza HEPA, l'objectiu és el control del risc d'infecció-i el flux d'aire protegit sobre el camp quirúrgic, no la protecció del rendiment a nivell de semiconductors-.

Així, quan els compradors diuen que "les sales de cirurgia utilitzen HEPA", aquesta és generalment la direcció correcta. L'objectiu de filtració sanitària és alt, però està impulsat per la seguretat del pacient i el disseny del flux d'aire procedimental, no per la sensibilitat de partícules i moleculars dels processos d'hòsties.

Fabriques de semiconductors i electrònica avançada

Les instal·lacions de semiconductors són un món diferent. La guia de semiconductors de Camfil estableix que les fàbriques utilitzen solucions completes de filtració i control AMC-per reduir les concentracions de partícules i moleculars als nivells ISO Classe 1 per a partícules i nivells inferiors a -ppb per a la contaminació molecular a l'aire. Els seus panells de sala blanca-centrats en l'electrònica s'ofereixen en HEPA H14 i ULPA U15, U16, U17, específicament per a la indústria microelectrònica i amb components ultra-degassats.

És per això que la producció avançada de xips sovint passa més enllà de l'HEPA i cap a l'ULPA, especialment a les zones de procés crítiques, els entorns mini-d'eines, les àrees de litografia o altres parts de la fàbrica on les partícules més petites i la contaminació molecular afecten directament el rendiment. Una manera pràctica de dir-ho és aquesta:

l'hospital està protegint pacients i procediments

la fabricació de xips protegeix el rendiment amb un llindar de defecte molt més ajustat

Mateixa paraula: net. Llindar molt diferent.

Aquest és un dels detalls que molts compradors no-electrònics es perden.

A les sales netes de semiconductors, el filtre no es pot tractar com una caixa inert. El filtre en si pot convertir-se en una font de contaminació si els mitjans o components superen els dopants o contaminants moleculars no desitjats.

Un estudi de 1991 sobre microelectrònica de silici va trobar que la contaminació amb bor a l'aire es va localitzar al vidre de borosilicat en filtres d'aire de partícules d'alta-eficiència. Informes posteriors del sector van assenyalar que els proveïdors tradicionals de suports de fibra de vidre-desenvolupen productes de baix-bor, i aquests mitjans van obtenir acceptació del mercat com a resposta als requisits dels semiconductors.

Aquests antecedents explican per què els productes electrònics moderns de grau-ULPA posen l'accent en la construcció de baix-boro,-lliure de dopants o ultra-desgasificació. Un producte actual d'ULPA de baix-boro per a aplicacions de semiconductors de sub{-14 nm afirma que els mitjans de fibra de vidre-de baix-boro-prevenen la contaminació per bor-transportat pel filtre, i adverteix específicament que el bor dels medis ULPA estàndard pot desgasificar-se en un flux d'aire d'alta-puresa{{1}p{1}intencionat. Camfil fa un punt semblant des d'un altre angle en promoure components ultra-exempts de gasos i sense dopants als seus panells de sales netes de microelectrònica.

Si el teu projecte està a:

•fabricació d'hòsties

•litografia

•Revestiment/exposició fotoresistent

•embalatge avançat

•eines microelectròniques o mini{0}}entorns

llavors la conversa hauria d'anar més enllàEficiència ULPAi inclouen:

•Mitjà{0}}de baix en bor

•construcció lliure de dopants-

•baixa-desgasificació orgànica

•compatibilitat amb l'estratègia de control-AMC

Per a la filtració d'aire de semiconductors, això no és un article de luxe. Forma part de la protecció del procés.

Els nostres enginyers solen començar amb l'aplicació, no amb la classe de filtre.

Primer fem quatre preguntes:

•Quin és l'objectiu de neteja de la sala o zona de procés?

•El procés és sensible principalment a la biocàrrega, les partícules o la contaminació molecular?

•El sistema pot absorbir la caiguda de pressió més alta que sol comportar els filtres més ajustats?

•El projecte és en sanitat/farmacia, o en microelectrònica/semiconductor?

Recentment vam ajudar un client del sud-est asiàtic que inicialment va sol·licitar U15 en tot el projecte perquè el seu equip va suposar que "un grau més alt significa més segur". Va resultar que només les àrees crítiques del procés microelectrònic necessitaven ULPA. Les àrees d'assistència podrien quedar-se amb filtració terminal de grau-HEPA. Aquest canvi va reduir tant la càrrega del ventilador com el pressupost del filtre sense debilitar els-controls de risc reals del procés.

Aquest és normalment l'enfocament correcte. Utilitzeu ULPA on resolgui un problema real. No el difongueu a tot arreu tret que el procés ho necessiti realment.

abans de finalitzar l'especificació, verifiqueu aquests punts:

Estàndard: EN 1822/ISO 29463, no estàndards-de ventilació generals

Classe: H13, H14, U15, U16 o U17 segons la necessitat del procés

Base d'eficiència: MPPS i eficiència integral publicada

Caiguda de pressió inicial: s'adapta al ventilador, FFU o mòdul terminal

Aplicació: cirurgia/assistència sanitària, farmacèutica, semiconductors o entorn d'eines

Risc del suport: suports de vidre estàndard, suports de vidre de baix-boro o suports de membrana-sense dopants

Construcció: components de baixa-desgasificació si s'utilitzen en entorns electrònics

Prova de fuites: escaneja-individual quan ho requereixi l'aplicació